主要用於微型化(Miniaturized)半導體製程中之快速且低溫沉積均勻薄膜,例如14奈米(nm)以下節點製程之積體電路,先進隨機存取記憶體及快閃記憶體(DRAM/NAND Flash) 。
另也有以添加矽乙烷混氣方式應用於高階太陽能電池、TFT-LCD面板及LED等方面的應用上。
產品規格
產品應用
產品應用
核心競爭力
繼三星在2013年CES揭露概念機YOUM(將手機與平板以可摺疊或可捲曲的方式整合於一台裝置上)，並宣稱其將在2015年正式量產上市，雖未如其推出但目前預估2016年上市；Nokia與SEL也在2014年的SID上，展示可摺疊兩次或三次並可同時支援影像播放之軟性面板prototype。
在穿戴式裝置方面，Apple所預計推出的iWatch將可望採用可撓式OLED的市場傳聞也甚囂而上；韓廠三星與LG，在2013年底分別推出了曲面智慧手機(Galaxy Round、G Flex)，宣示其技術的里程碑。
以多樣化的平面顯示器而言，目前以中小型OLED的可撓化應用開發競爭最為激烈，日、韓、中各面板大廠皆積極切入可撓式OLED顯示面板的研發。可撓式面板特性有利於智慧型手機從事新穎的外觀設計，2016年Vivo、小米等大陸業者紛紛嘗試推出搭載可撓式面板的智慧型手機產品。
2017年蘋果(Apple)也預定在新款iPhone上採用可撓式面板，應會顯著拉抬可撓式面板出貨量。
IHS表示，2016年不少智慧型手機業者為了有創新的產品設計，積極要求供應商供應可撓式AMOLED面板，但面板業者受產能限制，只能消化部分訂單；未來面板業者應會將生產重心逐漸移轉到曲面(Curved)、可折疊(Foldable)、可捲曲(Rollable)的可撓式面板產品。
| 目前主要蒸鍍產品組合及規格 | |
| 高折射率 | Ta2O5-x、Ti3O5-x、La2Ti2O7-x… |
| 中折射率 | Al2O3、La2O3+Al2O3 |
| 低折射率 | SiO2、MgF2、SiAl |
| 若有其他需求，歡迎來電洽詢 | |
精密光學元件的要求不斷提高，對鍍膜材料的性能指標要求越來越高：
| 目前主要產品組合及規格 | ||||||
| 產品型號Model No. | C50K66 | E50N04 | E50T24 | 備註 | ||
| 基材種類 | CPI | PET | PET | |||
| 產品特色 | 薄型化配方設計 | 特殊高硬度膜層配方 | ||||
| 尺寸 | 基材厚度 | um | 50±1 | 50±1 | 50±1 | ASTM D3652 |
| 光學測試 | 穿透率(T.T) | % | 90 | 91.2 | 91.37 | JIS K 7361 |
| 霧度(HAZE) | % | 0.96 | 0.95 | 0.57 | JIS K 7136 | |
| 黃化(YI) | – | 1.04 | 0.7 | 0.79 | ASTM E313 | |
| 色座標(b*) | – | 1.07 | 0.39 | 0.43 | JIS Z8722 | |
| 物理測試 | 硬度(註1) | g/H | 4H | H | 2H |
ASTMD3363-00 ISO 15184 |
| 表面磨耗(註2) | 2500次 | |||||
| (目視無刮傷) | OK | OK | OK | JIS R3257 | ||
| 塗層附著 | B | 5B | 5B | 5B | ASTM D3359 | |
| HC面水接角(磨耗前) | ≧110° | 110 | 111 | 113 | JIS R3257 | |
| HC面水接角(磨耗後) | ≧100° | 103 | 105 | 106 | JIS R3257 | |
| 彎折半徑R | mm (內折) | R1.5 200K OK | R1.5 200K OK | R1.5 200K OK | 彎折試驗機 | |
| mm (外折) | R3 200K OK | R3 200K OK | R3 200K OK | 彎折試驗機 | ||
| 四角翹曲 (Size 8″) | 撕除保護膜後 | <1mm | <1mm | <4mm | 鐵尺 | |
| 註1 : 三菱鉛筆， 荷重750g，行程50mm，行進速度60mm/min | ||||||
| 註2 : #0000 BonStar鋼絲絨 ，荷重1kg ，行程40mm ，速度40 cycle/min， 壓頭大小20mm*20mm | ||||||
光學測試儀
磨耗試驗機
彎折試驗機
水接角量測機
鉛筆硬度測試機
UV固化機
隧道式烘箱
50KG攪拌槽
靶材通常為高純度陶瓷、純金屬或合金，尺寸及構型主要根據濺鍍設備的規格而定。
| 目前主要靶材產品組合及規格 | |
| 平面靶-純金屬靶材 | Al、Cu、Cr、Mo、Nb、Ni、Si、Ti、Ta、W |
| 平面靶-合金靶材 | AlNd、AlNiLa、AlNiCuLa、AZO、ITO、MoLa、MoNb、MoW、NiAl、NiCr、Niv、NiCu、NiMo、SiAl、TiAl、ZnAl、ZnSn |
| 圓柱靶 / 旋轉靶 | Ag、Al、AlNd、Cu、Cr、ITO、Mo、MoNb、Nb、NbOx、Ni、Niv、 Si、SiAl、Sn、Ti、TiOx、Ta、W、ZnAl、ZnSn |
| 若有其他需求，歡迎來電洽詢 | |
